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XD107 系列壓電掃描臺 XYZ三維
XD107 系列壓電掃描臺 XYZ三維是三維運(yùn)動的壓電平臺，它的中心具有方形通孔，適用于樣品顯微成像應(yīng)用。
產(chǎn)品特點(diǎn)
XYZ 向運(yùn)動
具有大型中心通孔
納米級精度
占用空間小，易于集成
產(chǎn)品應(yīng)用
掃描顯微鏡
掩模 / 晶圓定位
干涉、度量衡學(xué)
生物技術(shù)
微操作
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